CMP와 세정
CMP 연마 헤드에서 웨이퍼 주위를 둘러싸는 리테이너 링의 역할은?
- A웨이퍼를 냉각한다
- B슬러리에 색을 입힌다
- C연마 중 웨이퍼가 튀어나가지 않도록 고정하고, 웨이퍼 가장자리 연마의 편차를 억제한다
정답과 해설 보기
정답: C. 연마 중 웨이퍼가 튀어나가지 않도록 고정하고, 웨이퍼 가장자리 연마의 편차를 억제한다
리테이너 링은 연마 헤드에 고정된 웨이퍼의 외곽을 둘러싸는 수지 링입니다. 연마 중 웨이퍼가 옆으로 튀어나가는 것을 막는 동시에, 웨이퍼보다 약간 바깥쪽에서 패드를 눌러 주어 패드가 웨이퍼 가장자리에서 부풀거나 가라앉는 변형을 억제하고, 외곽 수 mm의 연마량 편차를 줄여 줍니다. 링 자체도 패드에 의해 깎여 소모되므로 정기적으로 교체합니다.