CMPの研磨ヘッドでウエハの周りを囲むリテーナリングの役割はどれか。

正解：C. 研磨中にウエハが飛び出さないよう保持し、ウエハ周辺部の研磨のばらつきを抑える

リテーナリングは、研磨ヘッドに保持したウエハの外周を囲むリングです。研磨中にウエハが横に飛び出すのを防ぐとともに、パッドを押さえてウエハ外周部でのパッドの変形を抑え、周辺部の研磨量のばらつきを小さくします。