CMP와 세정

MHz 대역의 초음파를 세정액에 가하여 웨이퍼 표면의 미세한 파티클을 제거하는 세정 방법은?

  1. A애싱
  2. B메가소닉 세정
  3. C스크라이브
정답과 해설 보기

정답: B. 메가소닉 세정

메가소닉 세정은 약 1 MHz 전후의 초음파를 세정액에 가하여, 액체의 빠른 흐름(음향류)과 얇은 경계층으로 미세한 파티클을 표면에서 떼어 내 제거합니다. 수십 kHz의 초음파 세정에서는 액체 속에 생긴 기포가 터질 때의 강한 충격(캐비테이션)으로 미세 패턴이 손상되기 쉬운 반면, 주파수가 높으면 충격이 작아 손상을 억제하면서 0.1 µm 이하의 입자도 제거할 수 있습니다. SC-1과 조합하여 자주 사용됩니다.

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