Welke reinigingsmethode voegt ultrageluid in het MHz-gebied toe aan de reinigingsvloeistof om kleine deeltjes van het waferoppervlak te verwijderen?

Antwoord: B. Megasonische reiniging

Bij megasonische reiniging wordt ultrageluid van circa 1 MHz aan de reinigingsvloeistof toegevoegd en worden kleine deeltjes met snelle vloeistofstromen (akoestische stroming) en een dunne grenslaag van het oppervlak losgemaakt. Bij ultrasone reiniging van enkele tientallen kHz worden fijne patronen gemakkelijk beschadigd door de sterke schokken van instortende belletjes in de vloeistof (cavitatie), terwijl bij hogere frequenties de schokken kleiner zijn en ook deeltjes kleiner dan 0,1 µm met beperkte schade kunnen worden verwijderd. Het wordt vaak gecombineerd met SC-1.