Quelle est la principale raison de maintenir la température très strictement constante dans une salle blanche, en particulier dans la zone d'exposition ?

Réponse : B. Éviter les décalages de position et les erreurs dimensionnelles dues à la dilatation thermique des plaquettes et des équipements

Le coefficient de dilatation thermique du silicium est d'environ 2,6×10⁻⁶ /K ; une plaquette de 300 mm s'allonge ou se contracte d'environ 80 nm pour une variation de température de seulement 0,1 ℃. L'exposition exigeant une précision de superposition nanométrique, la moindre variation de température provoque des décalages. À l'intérieur et autour des équipements d'exposition, la température est donc maîtrisée dans une plage étroite de ±0,1 ℃ ou moins. Il ne s'agit pas seulement du confort des opérateurs ou de l'éclairage.