Was ist TMAH?

Tetramethylammoniumhydroxid, eine metallionenfreie organische Lauge, die als Entwickler für Fotolack dient. Vorsicht ist geboten, da es durch Hautaufnahme zu Vergiftungen führen kann.

Japanische Bezeichnung: TMAH

Fachgebiet: Prozessmaterialien (Gase und Chemikalien)

Verwandte Begriffe

Arsin (AsH3) Massendurchflussregler (MFC) Monosilan (SiH4) NF3 (Stickstofftrifluorid) Phosphin (PH3) Präkursor (precursor) Reinstwasser Spezialgase (specialty gases)

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