Was ist Präkursor (precursor)?
Ausgangsverbindung, die bei CVD oder ALD zum gewünschten Film reagiert, etwa TEOS oder metallorganische Verbindungen.
Japanische Bezeichnung: プリカーサ(前駆体)
Fachgebiet: Prozessmaterialien (Gase und Chemikalien)
Verwandte Begriffe
Arsin (AsH3) Massendurchflussregler (MFC) Monosilan (SiH4) NF3 (Stickstofftrifluorid) Phosphin (PH3) Reinstwasser Spezialgase (specialty gases) TMAH