Was ist Silizid?
Verbindung aus Silizium und einem Metall, etwa NiSi oder TiSi2. Es wird auf Source-, Drain- und Gateoberflächen gebildet, um Widerstand und Kontaktwiderstand zu senken.
Japanische Bezeichnung: シリサイド
Fachgebiet: Verdrahtungsprozesse
Verwandte Begriffe
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