Was ist Luftspalt (Air Gap)?

Ein Teil des Isolators zwischen Leitbahnen wird als Hohlraum belassen. Da Luft eine relative Permittivität von etwa 1 hat, sinkt die Kapazität zwischen den Leitbahnen stark.

Japanische Bezeichnung: エアギャップ

Fachgebiet: Verdrahtungsprozesse

Verwandte Begriffe

Barrieremetall (Diffusionsbarriere) Black'sche Gleichung Damascene-Verfahren Dual-Damascene-Verfahren IR-Drop (Spannungsabfall) Keimschicht (Seed Layer) Low-k-Material Mehrlagenverdrahtung MOL (Middle of Line) Passivierungsschicht

Zurück zum Glossar