Was ist Barrieremetall (Diffusionsbarriere)?
Ein dünner Metallfilm um Kupferleitungen, der verhindert, dass Kupfer in Isolierschichten oder Silizium diffundiert, etwa Ta oder TaN.
Japanische Bezeichnung: バリアメタル
Fachgebiet: Verdrahtungsprozesse
Verwandte Begriffe
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