シリサイド란?
しりさいど
シリコンと金属の化合物(NiSi、TiSi2など)。ソース・ドレインやゲートの表面に形成し、抵抗や接触抵抗を下げる。
일본어 명칭: シリサイド
분야: 배선 공정
관련 용어
多層配線 裏面電源供給 表皮効果 IRドロップ Low-k材料 MOL(ミドル・オブ・ライン) RC遅延 エアギャップ クロストーク コンタクト
しりさいど
シリコンと金属の化合物(NiSi、TiSi2など)。ソース・ドレインやゲートの表面に形成し、抵抗や接触抵抗を下げる。
일본어 명칭: シリサイド
분야: 배선 공정
多層配線 裏面電源供給 表皮効果 IRドロップ Low-k材料 MOL(ミドル・オブ・ライン) RC遅延 エアギャップ クロストーク コンタクト