Was ist Opferschichtätzen?

Ein typisches MEMS-Fertigungsverfahren, bei dem eine temporäre Schicht (Opferschicht) unter einer Struktur weggeätzt wird, sodass Balken oder Membranen freigelegt und beweglich werden.

Japanische Bezeichnung: 犠牲層エッチング

Fachgebiet: MEMS und Sensoren

Verwandte Begriffe

Anodisches Bonden Beschleunigungssensor Bosch-Prozess (Deep RIE) Coriolis-Kraft Drehratensensor (Gyroskop) Hall-Sensor Kapazitive Detektion MEMS (mikroelektromechanische Systeme) Piezoresistiver Effekt Stiction (Haftreibung in MEMS)

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