Was ist Kapazitive Detektion?

Ein Verfahren, das Auslenkung, Druck und Ähnliches anhand von Kapazitätsänderungen zwischen beweglichen und festen Elektroden erfasst. Weit verbreitet in MEMS-Sensoren.

Japanische Bezeichnung: 静電容量検出

Fachgebiet: MEMS und Sensoren

Verwandte Begriffe

Anodisches Bonden Beschleunigungssensor Bosch-Prozess (Deep RIE) Coriolis-Kraft Drehratensensor (Gyroskop) Hall-Sensor MEMS (mikroelektromechanische Systeme) Opferschichtätzen Piezoresistiver Effekt Stiction (Haftreibung in MEMS)

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