Was ist Drehratensensor (Gyroskop)?
Ein Sensor, der die Drehrate (Winkelgeschwindigkeit) erfasst. MEMS-Versionen nutzen die auf eine schwingende Struktur wirkende Corioliskraft.
Japanische Bezeichnung: ジャイロスコープ
Fachgebiet: MEMS und Sensoren
Verwandte Begriffe
Anodisches Bonden Beschleunigungssensor Bosch-Prozess (Deep RIE) Coriolis-Kraft Hall-Sensor Kapazitive Detektion MEMS (mikroelektromechanische Systeme) Opferschichtätzen Piezoresistiver Effekt Stiction (Haftreibung in MEMS)