Was ist Stiction (Haftreibung in MEMS)?

Das Festkleben winziger beweglicher MEMS-Teile am Substrat durch Oberflächenspannung oder Oberflächenhaftung, sodass sie sich nicht mehr bewegen. Es tritt oft beim Trocknen nach dem Entfernen der Opferschicht auf.

Japanische Bezeichnung: スティクション