Was ist Anodisches Bonden?

Verbinden von Silizium mit natriumhaltigem Glas durch gemeinsames Erhitzen unter angelegter Spannung. Es wird z. B. zum Versiegeln von MEMS-Bauelementen eingesetzt.

Japanische Bezeichnung: 陽極接合

Fachgebiet: MEMS und Sensoren

Verwandte Begriffe

Beschleunigungssensor Bosch-Prozess (Deep RIE) Coriolis-Kraft Drehratensensor (Gyroskop) Hall-Sensor Kapazitive Detektion MEMS (mikroelektromechanische Systeme) Opferschichtätzen Piezoresistiver Effekt Stiction (Haftreibung in MEMS)

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