Was ist Wafer-Notch (Kerbe)?

Eine kleine Aussparung am Waferrand, die die Kristallorientierung anzeigt. Wird bei Wafern ab 200 mm verwendet; kleinere Wafer hatten stattdessen einen Orientierungsflat (eine gerade Kante).

Japanische Bezeichnung: ウエハのノッチ

Fachgebiet: Siliziumwafer

Verwandte Begriffe

Czochralski-Verfahren (CZ-Verfahren) DZ (Denuded Zone, defektfreie Zone) FZ-Verfahren (Zonenschmelzen) Gettern (Getterung) Ingot (Kristallblock) Kristallorientierung MCZ-Verfahren (CZ mit Magnetfeld) Monitorwafer Necking (Halsbildung) Sauerstoffausscheidungen (BMD)

Zurück zum Glossar