Was ist Passivierungsschicht?

Eine als oberste Lage des Chips aufgebrachte Schicht, die die Schaltung vor Feuchtigkeit, Verunreinigungen und mechanischer Beschädigung schützt. Typische Materialien sind Siliziumnitrid und Polyimid.

Japanische Bezeichnung: パッシベーション膜

Fachgebiet: Verdrahtungsprozesse

Verwandte Begriffe

Barrieremetall (Diffusionsbarriere) Black'sche Gleichung Damascene-Verfahren Dual-Damascene-Verfahren IR-Drop (Spannungsabfall) Keimschicht (Seed Layer) Low-k-Material Luftspalt (Air Gap) Mehrlagenverdrahtung MOL (Middle of Line)

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