エアギャップ란?

えあぎゃっぷ

配線の間の絶縁膜の一部を空洞にする技術。空気の比誘電率はほぼ1のため、配線間の容量を大きく下げられる。

일본어 명칭: エアギャップ

분야: 배선 공정

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多層配線 裏面電源供給 表皮効果 IRドロップ Low-k材料 MOL(ミドル・オブ・ライン) RC遅延 クロストーク コンタクト シード層

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