Prozessmaterialien (Gase, Chemikalien)

Welche wässrige Lösung wird üblicherweise zum Entwickeln von Fotolack verwendet?

  1. AWässrige Lösung von TMAH (Tetramethylammoniumhydroxid)
  2. BSalzsäure
  3. CFlusssäure
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Antwort: A. Wässrige Lösung von TMAH (Tetramethylammoniumhydroxid)

Zum Entwickeln von Positivlacken wird als Branchenstandard eine 2.38-prozentige wässrige TMAH-Lösung (etwa 0.26 N) verwendet. Die durch Belichtung alkalilöslich gewordenen Bereiche lösen sich, und das Muster erscheint. Durch einheitliche Konzentration lässt sich die Entwicklungsgeschwindigkeit in jeder Fabrik leichter reproduzieren. Salzsäure und Flusssäure sind Säuren und wirken nicht als Lackentwickler. Es gibt auch ein Negativentwicklung genanntes Verfahren, bei dem unbelichtete Bereiche mit organischen Lösungsmitteln gelöst werden.

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