Messtechnik und Analytik
Welcher Grund, warum bei optischer Fehlerinspektion der Nachweis mit kleiner werdenden Partikeln abrupt schwieriger wird, ist richtig?
- AWeil die Intensität des Streulichts von Teilchen, die deutlich kleiner als die Wellenlänge sind, etwa mit der sechsten Potenz des Teilchendurchmessers abnimmt
- BWeil kleine Teilchen kein Licht reflektieren
- CWeil alle kleinen Teilchen transparent sind
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Antwort: A. Weil die Intensität des Streulichts von Teilchen, die deutlich kleiner als die Wellenlänge sind, etwa mit der sechsten Potenz des Teilchendurchmessers abnimmt
Die Intensität der Lichtstreuung an Teilchen, die deutlich kleiner als die Wellenlänge sind (Rayleigh-Streuung), ist etwa proportional zur sechsten Potenz des Teilchendurchmessers. Halbiert sich der Durchmesser, sinkt das Streulicht auf etwa 1/64 und geht im Hintergrundrauschen von Oberflächenrauheit und Strukturen unter. Daher werden Licht kürzerer Wellenlänge und stärkere Lichtquellen verwendet, optische Systeme zur Rauschminderung entwickelt und für noch kleinere Fehler Elektronenstrahl-Inspektion kombiniert.