Welche Aussage zum Koeffizienten k1 in der Auflösungsformel R = k1 × λ / NA ist richtig?

Antwort: A. Er ist ein Koeffizient für die Schwierigkeit des Prozesses, und die theoretische Untergrenze bei einer Belichtung beträgt 0,25

k1 ist ein Koeffizient, der das Gesamtvermögen aus Resistleistung, Maskenmaßnahmen und Beleuchtungsbedingungen ausdrückt; je kleiner er ist, desto feinere Strukturen lassen sich auflösen, doch das Prozessfenster wird enger und der Prozess schwieriger. Die theoretische Untergrenze zur Auflösung periodischer Strukturen (Linien und Abstände) mit einer Belichtung beträgt 0,25. In den 1990er-Jahren lag er bei etwa 0,6; durch Auflösungssteigerungstechniken wie Off-Axis-Beleuchtung, Phasenschiebermasken und OPC konnte er in der Serienfertigung auf etwa 0,27 bis 0,3 gesenkt werden.