Welche Eigenschaft bestimmt die Obergrenze der Konzentration, die sich beim Ausheilen elektrisch aktivieren lässt?

Antwort: A. Löslichkeit

Die maximale Konzentration eines Dotierstoffs, die sich im thermischen Gleichgewicht im Kristall lösen kann, heißt Löslichkeit; in Silizium beträgt sie bei Bor etwa 2×10²⁰ cm⁻³ (um 1000 ℃) und bei Arsen und Phosphor um 10²¹ cm⁻³. Wird mit höherer Konzentration implantiert, präzipitiert der überschüssige Dotierstoff oder bildet Cluster und wird elektrisch nicht aktiv. Beim Millisekunden-Ausheilen und bei der Festphasen-Epitaxie wird abgekühlt, bevor das thermische Gleichgewicht erreicht ist, sodass vorübergehend eine Aktivierung über der Löslichkeit möglich ist.