離子佈植 以退火使摻質活化時，決定可在電性上活化之濃度上限的性質為下列何者？ A固溶度 B遷移率 C介電常數 查看答案與解析 正確答案：A. 固溶度 在熱平衡下能溶入晶體中的雜質最大濃度稱為固溶度，在矽中，硼約為2×10²⁰ cm⁻³（1000 ℃附近），砷與磷則在10²¹ cm⁻³前後。即使以超過固溶度的濃度佈植，多餘的雜質也會析出或形成團簇而不具電性活性。毫秒退火或固相磊晶再成長會在達到熱平衡前就降溫，因此能暫時得到超過固溶度的活化。