이온 주입
어닐링으로 도펀트를 활성화할 때 전기적으로 활성화할 수 있는 농도의 상한을 결정하는 성질은 무엇인가?
- A고용도
- B이동도
- C유전율
정답과 해설 보기
정답: A. 고용도
결정 안에 열평형으로 녹아들 수 있는 불순물의 최대 농도를 고용도라 하며, 실리콘 중에서 붕소는 약 2×10²⁰ cm⁻³(1000 ℃ 부근), 비소나 인은 10²¹ cm⁻³ 전후입니다. 고용도를 넘는 농도로 주입해도 남은 불순물은 석출되거나 클러스터를 만들어 전기적으로 활성이 되지 않습니다. 밀리초 어닐링이나 고상 에피택셜 재성장에서는 열평형에 도달하기 전에 냉각하기 때문에, 일시적으로 고용도를 넘는 활성화를 얻을 수 있습니다.