Wie heißt das Phänomen, bei dem im frühen Stadium des Ausheilens nach der Ionenimplantation die Diffusion von Bor u. a. durch die bei der Implantation entstandenen Silizium-Zwischengitteratome vorübergehend beschleunigt ist?

Antwort: A. Transient Enhanced Diffusion (TED)

Überschüssige Silizium-Zwischengitteratome aus der Ionenimplantation bilden Paare mit Bor und fördern dessen Diffusion, sodass die Diffusion im frühen Stadium des Ausheilens vorübergehend um das Zehnfache bis Tausendfache beschleunigt ist. Sie klingt ab, wenn die Zwischengitteratome z. B. an der Oberfläche verschwinden, und heißt daher „transiente“ beschleunigte Diffusion (TED); der Einfluss ist umso größer, je länger bei relativ niedriger Temperatur erwärmt wird. Da sie flache Übergänge behindert, wird sie durch Spike-Anneal mit rascher Erhitzung oder Co-Implantation von Kohlenstoff unterdrückt.