이온 주입

이온 주입 후 어닐링 초기에, 주입으로 생긴 격자간 실리콘의 영향으로 붕소 등의 확산이 일시적으로 빨라지는 현상을 무엇이라 하는가?

  1. A과도 증속 확산(TED)
  2. B게터링
  3. C편석
정답과 해설 보기

정답: A. 과도 증속 확산(TED)

이온 주입으로 생긴 과잉 격자간 실리콘 원자는 붕소와 쌍을 이루어 붕소의 확산을 도우므로, 어닐링 초기에 확산이 수십 배에서 천 배 정도까지 일시적으로 증속됩니다. 격자간 실리콘이 표면 등에서 소멸하면 가라앉기 때문에 '과도' 증속 확산(TED)이라 불리며, 비교적 저온에서 오래 가열할수록 영향이 커집니다. 얕은 접합에 방해가 되므로 급속히 고온으로 올리는 스파이크 어닐링이나 탄소 공동 주입으로 억제합니다.

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