Was ist der Hauptzweck der Reinigung mit verdünnter Flusssäure (DHF)?

Antwort: C. Entfernung des natürlichen Oxids

Flusssäure löst SiO2; eine Behandlung mit etwa 0,5 bis 1 % verdünnter Flusssäure über einige zehn Sekunden entfernt das etwa 1 nm dicke natürliche Oxid auf der Siliziumoberfläche. Die Siliziumoberfläche ist danach wasserstoffterminiert und hydrophob, sodass die Entfernung daran erkennbar ist, dass Wasser abperlt. Die Behandlung erfolgt häufig unmittelbar vor Gateoxidation, Epitaxiewachstum oder Silizidbildung. Zur Entfernung organischer Stoffe und Partikel dient SC-1, für metallische Verunreinigungen SC-2.