矽晶圓的鏡面拋光(以CMP進行的精拋光)中，拋光液的磨粒一般使用哪一種？

正確答案：B. 膠態二氧化矽(二氧化矽微粒)

晶圓的精拋光使用將數十nm左右的二氧化矽微粒分散於鹼性溶液中的膠態二氧化矽。鹼會把矽表面化學性地變成較軟的層，再由微粒以機械方式刮除，藉由這種化學與機械作用的結合，做成沒有損傷、表面粗糙度約0.1 nm的鏡面。因為粒子柔軟，不會在矽上造成深的刮傷，也能避免金屬汙染。

• A. 鐵粉會造成金屬汙染，所以不使用。
• B. 正確。使用分散了二氧化矽微粒的溶液。
• C. 大顆粒的鑽石會造成深刮傷，無法做成鏡面。