실리콘 웨이퍼

CZ법에서 도가니에 자기장을 걸어 융액의 대류를 억제하고 산소 농도 등을 제어하는 방법은 무엇인가?

  1. AFZ법
  2. BMCZ법(자기장 인가 CZ법)
  3. C브리지먼법
정답과 해설 보기

정답: B. MCZ법(자기장 인가 CZ법)

실리콘 융액은 전기를 통하므로 자기장을 걸면 움직이는 융액에 반대 방향의 힘(로런츠 힘)이 작용하여 대류가 억제됩니다. MCZ법에서는 이를 통해 도가니에서 녹아 나온 산소의 결정 내 유입을 억제하거나, 온도 변동을 줄여 성장 줄무늬를 억제하고 결정의 균일성을 높일 수 있습니다. 융액 양이 수백 kg에 달하는 300 mm 결정에서는 대류가 격렬하므로 횡자기장 MCZ법이 표준적으로 사용됩니다.

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