실리콘 웨이퍼

웨이퍼의 표면이나 뒷면에 새기는 레이저 마크(ID 마크)의 목적은 무엇인가?

  1. A웨이퍼를 장식하기 위해
  2. B웨이퍼의 강도를 높이기 위해
  3. C웨이퍼 한 장 한 장을 식별하고 공정 이력을 추적할 수 있게 하기 위해
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정답: C. 웨이퍼 한 장 한 장을 식별하고 공정 이력을 추적할 수 있게 하기 위해

웨이퍼에는 표면이나 뒷면의 외주 근처에 레이저로 고유 번호(영숫자나 2차원 코드)가 각인됩니다. 장치는 이를 읽어 웨이퍼를 식별하고, 어느 장치에서 어떤 조건으로 처리되었으며 어떤 검사 결과였는지를 기록합니다(트레이서빌리티). 불량이 발견되었을 때 원인 공정이나 장치를 거슬러 올라가 찾거나, 웨이퍼 내 위치 정보와 결합하여 수율을 해석하는 데 도움이 됩니다.

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