SRAM與快閃記憶體

3D NAND 中,將感測放大器等周邊電路配置在記憶單元陣列下方的結構(CMOS under Array 等),其主要優點為何?

  1. A不再需要抹除
  2. B縮小晶片面積,增加一片晶圓可取得的容量
  3. C可減少堆疊層數
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正確答案:B. 縮小晶片面積,增加一片晶圓可取得的容量

以往是將周邊電路排在單元陣列旁邊,若把周邊電路放在陣列正下方,就能減少該部分的晶片面積達 2~3 成,位元密度提高、成本降低(CMOS under Array、Periphery under Cell 等)。由於先製作周邊電路,必須顧及後續陣列形成的熱製程。此外,將周邊電路與陣列分別在不同晶圓上製作再貼合的方式(CBA 等)也已實用化。

  • A. 即使改變結構,仍然需要抹除。
  • B. 正確。把周邊電路放在陣列下方以削減面積。
  • C. 這是與堆疊層數沒有直接關係的做法。
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