半導體物性
下列材料中,能隙最大的是哪一個?
- A矽(Si)
- B鍺(Ge)
- C二氧化矽(SiO2)
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正確答案:C. 二氧化矽(SiO2)
SiO2的能隙約為9 eV,非常大,是良好的絕緣體,與矽(約1.12 eV)、鍺(約0.66 eV)相差一個數量級。不僅能隙大,與矽側的導帶偏移(約3.1 eV)也很大,因此電子很難越過閘極絕緣膜。High-k材料(HfO2約5.8 eV)雖然介電常數高,但能隙較小,需在與漏電流之間取得平衡後選用。
- A. 矽約為1.12 eV,比SiO2小得多。
- B. 鍺約為0.66 eV,是三者中最小的。
- C. 正確。SiO2是具有約9 eV大能隙的絕緣體。