半導體物性

電子濃度為1×10¹⁶ cm⁻³、電子遷移率為1000 cm²/V·s的n型矽,其電阻率約為多少?(忽略電洞的貢獻,基本電荷1.6×10⁻¹⁹ C)

  1. A約0.06 Ω·cm
  2. B約0.6 Ω·cm
  3. C約60 Ω·cm
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正確答案:B. 約0.6 Ω·cm

電導率為 σ = qnμ = 1.6×10⁻¹⁹ × 1×10¹⁶ × 1000 = 1.6 S/cm,電阻率為其倒數 ρ ≈ 0.63 Ω·cm。「ρ ≈ 1/(qnμ)」是由晶圓電阻率估算摻雜濃度的基本式。實務上會使用包含遷移率濃度相依性的換算表(ASTM規格等),例如1~10 Ω·cm的p型晶圓相當於硼約10¹⁵ cm⁻³的等級。

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