빛을 사용하는 결함 검사에서 이물이 작아질수록 검출이 급격히 어려워지는 이유로 올바른 것은?

정답: A. 파장보다 충분히 작은 입자의 산란광 세기는 입경의 대략 6제곱에 비례하여 급격히 약해지기 때문에

파장보다 충분히 작은 입자에 의한 빛의 산란(레일리 산란)의 세기는 입경의 대략 6제곱에 비례합니다. 입경이 절반이 되면 산란광은 약 1/64이 되어, 표면 거칠기나 패턴에서 오는 배경 잡음에 묻혀 버립니다. 그래서 짧은 파장의 빛이나 강한 광원을 사용하고, 잡음을 줄이는 광학계를 고안하며, 더 작은 결함에는 전자빔 검사를 조합합니다.

• A. 올바릅니다. 산란광은 입경의 약 6제곱에 비례하여 약해집니다.
• B. 작은 입자도 빛을 산란시키지만 그 세기가 급격히 약해집니다.
• C. 입자가 투명해지는 것은 아닙니다.