계측과 분석
광학현미경으로 수십 nm의 미세 패턴을 직접 관찰할 수 없는 주된 이유는?
- A빛의 회절에 의한 분해능 한계(대략 빛의 파장 정도)가 있기 때문에
- B광학현미경은 색이 입혀지지 않기 때문에
- C광학현미경은 너무 어둡기 때문에
정답과 해설 보기
정답: A. 빛의 회절에 의한 분해능 한계(대략 빛의 파장 정도)가 있기 때문에
광학현미경의 분해능은 빛의 회절 때문에 대략 0.61λ/NA(λ는 파장, NA는 개구수)로 제한됩니다. 가시광의 파장은 400~700 nm 정도이므로 최선의 조건에서도 200 nm 안팎이 한계이며, 수십 nm의 패턴은 구분할 수 없습니다. 그래서 파장이 훨씬 짧은 전자빔을 사용하는 SEM이나 TEM이 사용됩니다. 밝기나 색의 문제가 아닙니다.