MEMS의 가동판이 아주 가까운 고정면을 향해 움직일 때, 사이에 있는 기체가 밀려나면서 생기는 감쇠를 무엇이라 하는가?

정답: B. 스퀴즈 필름 댐핑(squeeze film damping)

가동판과 고정면의 틈새가 수 µm로 좁으면 판이 움직일 때마다 틈새의 기체가 밀려나거나 빨려 들어가면서 큰 점성 저항이 생깁니다. 이것이 스퀴즈 필름 댐핑이며, 틈새의 3제곱에 반비례하여 강해집니다. 가속도 센서에서는 진동을 억제하고 응답을 정돈하는 데 이용되고, 자이로나 공진기에서는 Q값을 낮추는 원인이 되므로 판에 다수의 구멍을 뚫거나 진공으로 밀봉하여 조정합니다.

• A. 유전 완화는 유전체 분극 응답의 지연입니다.
• B. 올바릅니다. 틈새 기체의 출입에 의한 감쇠입니다.
• C. 쿨롱 마찰은 접촉면의 고체 마찰입니다.