이온 주입

이온 주입의 마스크로 포토레지스트를 사용할 때 주의해야 할 점은 무엇인가?

  1. A레지스트는 얇을수록 좋다
  2. B레지스트는 주입 후에도 제거하지 않아도 된다
  3. C이온이 레지스트를 뚫고 지나가지 않도록 주입 에너지에 대해 충분한 두께가 필요하다
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정답: C. 이온이 레지스트를 뚫고 지나가지 않도록 주입 에너지에 대해 충분한 두께가 필요하다

레지스트가 너무 얇으면 고에너지 이온이 뚫고 지나가 마스크한 부분에도 주입되어 버립니다. 레지스트는 밀도가 낮아 실리콘보다 깊이 들어가므로, 일반적으로 이온의 비정(Rp + 수 ΔRp)의 몇 배 두께가 필요하며, MeV급 주입에서는 수 µm~10 µm 정도의 두꺼운 레지스트를 사용합니다. 고도즈 주입에서는 레지스트 표면이 탄화되어 경화되고 제거하기 어려워지므로 애싱 조건에도 주의가 필요합니다.

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