先進電晶體（FinFET與GAA）
在已量產的奈米片型 GAA 電晶體中，一個電晶體所堆疊的奈米片數量，一般為何？
- A1 片
- B3 片左右
- C100 片左右
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正確答案：B. 3 片左右
目前的奈米片型 GAA 一般堆疊 3 片左右的薄片。增加片數可在相同面積下增加電流，但堆疊變高後，源極、汲極的磊晶成長與在薄片之間填入閘極會變得困難，越下層的薄片受寄生電阻與寄生電容的影響也越大。此外，因寄生電容增加，在功耗方面比在高速性方面更為不利，所以片數是依效果與困難度的平衡來決定。
- A. 只有 1 片的話，得不到堆疊使電流增加的優點。
- B. 正確。一般為 3 片左右。
- C. 堆疊 100 片對邏輯電晶體而言並不實際。