식각
건식 식각에서 사용되는 「플라즈마」에 대한 설명으로 올바른 것은?
- A매우 차가운 액체
- B전리되어 전자, 이온, 라디칼 등이 섞인 기체 상태
- C금속 고체
정답과 해설 보기
정답: B. 전리되어 전자, 이온, 라디칼 등이 섞인 기체 상태
플라즈마는 기체에 고주파 등의 전력을 가해 전자를 가속시켜 원자나 분자를 전리시킨 상태로, 전자·이온·반응성이 높은 라디칼·중성 분자가 섞여 있습니다. 고체·액체·기체에 이은 「제4의 상태」라고도 불립니다. 식각 장치의 플라즈마는 전리되어 있는 비율이 0.01% 이하 정도로 낮고, 가스 온도는 낮은 채로 전자만 수만 ℃에 상당하는 에너지를 갖는 「저온 플라즈마」입니다.
- A. 플라즈마는 액체가 아닙니다.
- B. 맞습니다. 전리된 기체 상태입니다.
- C. 플라즈마는 고체가 아닙니다.