エピタキシャル成長
GaAsのような極性をもつ化合物半導体を、無極性のシリコン基板の上に成長させるときに生じやすい、結晶の中でGaとAsの並びが反転した領域の境界を何と呼ぶか。
- A反位相境界(APB)
- B双晶境界
- C粒界
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正解:A. 反位相境界(APB)
シリコンの表面に1原子層の段差があると、その両側でGaとAsの位置が入れ替わった領域が成長し、その境界に反位相境界(APB)ができます。APBは電気的な欠陥になるため、オフ角のついた基板で2原子層の段差をそろえるなどの対策がとられます。
- A. 正しい。原子の並びが反転した領域の境界です。
- B. 双晶境界は鏡映対称の関係にある結晶の境界です。
- C. 粒界は結晶の向きが異なる結晶粒の境界です。