エピタキシャル成長

MOCVDによるGaNの成長で、条件として管理される「V/III比」の意味はどれか。

  1. A膜厚と成長時間の比
  2. B供給するV族原料(アンモニアなど)とIII族原料(有機ガリウムなど)のモル比
  3. C成長温度と圧力の比
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正解：B. 供給するV族原料(アンモニアなど)とIII族原料(有機ガリウムなど)のモル比

V/III比は、反応炉に供給するV族元素の原料とIII族元素の原料の量の比です。GaNの成長ではアンモニアの分解効率が低いため、V/III比を数千程度と非常に大きくします。V/III比は表面の平坦性、成長のモード、不純物の取り込みなどに影響します。

  • A. 膜厚と時間の比は成長速度です。
  • B. 正しい。V族とIII族の原料の供給比です。
  • C. 温度と圧力の比ではありません。
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