在GaN元件中，下列何者通常被用作成長GaN層的基板？

正確答案：B. 藍寶石、SiC、Si等異質基板

GaN在高溫、高壓下也容易分解，無法從熔液中拉出晶體，因此難以製作大口徑且便宜的GaN基板，而是在不同材料的基板上進行磊晶成長。LED常使用便宜且透明的藍寶石，高頻元件常使用導熱良好的SiC，功率元件則常使用大口徑且便宜的Si。關鍵在於抑制因晶格常數與熱膨脹差異所造成的缺陷與翹曲的緩衝層技術。