化合物半導体 GaNデバイスで、GaN層を成長させる基板として一般的に使われるものはどれか。 A石英ガラスだけ Bサファイア、SiC、Siなどの異種基板 C銅の板 答えと解説を見る 正解：B. サファイア、SiC、Siなどの異種基板 GaNは大口径で安価な単結晶基板をつくるのが難しいため、サファイア、SiC、Siなどの異なる材料の基板の上にエピタキシャル成長させることが多くあります。LEDではサファイア、高周波デバイスではSiC、パワーデバイスでは大口径で安価なSi基板がよく使われます。