下列何者是為了在不使微細圖案倒塌的情況下去除微粒而被研究並實用化、噴吹極低溫二氧化碳或氬等微粒的清洗方式？

正確答案：C. 低溫氣溶膠（cryogenic aerosol）清洗

低溫氣溶膠清洗是將加壓並冷卻的氬、氮或二氧化碳，從噴嘴在真空中噴出，使因膨脹而生成的微小固體粒子（氣溶膠）噴吹到晶圓上，藉由其碰撞將表面的微粒彈開。由於不使用液體，沒有乾燥時圖案倒塌或藥液造成的損傷與腐蝕，粒子也會昇華而不殘留，因此適合清洗微細結構或銅配線。

• A. SPM清洗是以硫酸與雙氧水的混合液去除有機物的方法。
• B. 刷洗是以物理方式摩擦的方法，容易損傷微細圖案。
• C. 正確。是噴吹極低溫微粒的乾式清洗。