微細なパターンを倒さずにパーティクルを除去する方法として研究・実用化されている、極低温の二酸化炭素やアルゴンなどの微粒子を吹き付ける洗浄はどれか。

正解：C. クライオエアロゾル洗浄

クライオエアロゾル洗浄では、冷却したアルゴンや二酸化炭素を噴出させてできる微小な固体粒子をウエハに吹き付け、その衝突でパーティクルを弾き飛ばします。液体を使わないため乾燥時のパターンの倒れや薬液のダメージがなく、微細構造の洗浄に向いています。

• A. SPM洗浄は硫酸と過酸化水素の混合液で有機物を除去する方法です。
• B. ブラシスクラブは物理的にこする方法で、微細なパターンを傷めやすくなります。
• C. 正しい。極低温の微粒子を吹き付ける乾式の洗浄です。