미세 패턴을 쓰러뜨리지 않고 파티클을 제거하는 방법으로 연구·실용화되고 있는, 극저온의 이산화탄소나 아르곤 등의 미립자를 분사하는 세정은?

정답: C. 크라이오 에어로졸 세정

크라이오 에어로졸 세정에서는 가압하여 냉각한 아르곤, 질소, 이산화탄소를 진공 중에 노즐로 분출시키고, 팽창으로 생기는 미세한 고체 입자(에어로졸)를 웨이퍼에 분사하여 그 충돌로 표면의 파티클을 튕겨 냅니다. 액체를 사용하지 않으므로 건조 시 패턴 쓰러짐이나 약액에 의한 손상·부식이 없고, 입자는 승화하여 남지 않으므로 미세 구조나 구리 배선의 세정에 적합합니다.

• A. SPM 세정은 황산과 과산화수소의 혼합액으로 유기물을 제거하는 방법입니다.
• B. 브러시 스크럽은 물리적으로 문지르는 방법으로, 미세 패턴을 손상시키기 쉽습니다.
• C. 올바릅니다. 극저온 미립자를 분사하는 건식 세정입니다.