클린룸과 장비
반도체 공장 등 정밀 시설에서 바닥 진동의 허용 수준을 주파수별 진동 속도로 단계적으로 나타낸 지표는 무엇인가?
- AISO 14644-1의 클래스
- BGHS
- CVC(Vibration Criteria) 곡선
정답과 해설 보기
정답: C. VC(Vibration Criteria) 곡선
VC 곡선은 정밀 장비를 놓는 바닥 진동의 허용값을 주파수 대역별 진동 속도의 상한으로, VC-A, VC-B… 와 같이 단계적으로 정한 지표입니다. VC-A는 50 µm/s이며, 한 단계 나아갈 때마다 상한이 절반이 되어 뒤 단계일수록 엄격해집니다. 노광 장비나 전자현미경 등을 놓는 바닥에는 엄격한 수준이 요구되며, 건물 설계나 장비 설치 장소의 평가에 사용됩니다. ISO 클래스는 공기, GHS는 화학물질 표시에 관한 것입니다.
- A. ISO 클래스는 공기 청정도의 지표입니다.
- B. GHS는 화학물질의 위험·유해성을 표시하는 제도입니다.
- C. 맞습니다. 바닥 진동의 허용 수준을 나타내는 지표입니다.