半導体工場などの精密施設で、床の振動の許容レベルを周波数ごとの振動速度で段階的に示した指標はどれか。

正解：C. VC(Vibration Criteria)曲線

VC曲線は、精密な装置を置く床の振動の許容値を、周波数帯ごとの振動速度の上限としてVC-A、VC-B…のように段階的に定めた指標です。後ろの段階ほど厳しく、露光装置や電子顕微鏡などを置く床には厳しいレベルが求められます。建物の設計や、装置の設置場所の評価に使われます。

• A. ISOクラスは空気の清浄度の指標です。
• B. GHSは化学品の危険有害性を表示する仕組みです。
• C. 正しい。床の振動の許容レベルを示す指標です。