クリーンルーム・製造装置
クリーンルームの床材や作業台に、導電性(静電気を逃がす性質)をもつ材料が使われる主な理由はどれか。
- A床を光らせて明るくするため
- B帯電による静電気放電で素子が壊れたり、粒子が静電気で引き寄せられて付着したりするのを防ぐため
- C電気を流して床を温めるため
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正解：B. 帯電による静電気放電で素子が壊れたり、粒子が静電気で引き寄せられて付着したりするのを防ぐため
クリーンルームには樹脂製の容器や衣服が多く、静電気がたまりやすい環境です。帯電した物や人から放電(ESD)が起こると素子が壊れることがあり、帯電したウエハには粒子が引き寄せられます。導電性の床や作業台、接地したリストストラップなどで電荷を逃がします。
- A. 見た目のためではありません。
- B. 正しい。静電気をためないようにするためです。
- C. 床暖房のためではありません。